格林达

科技的增量来了吗!

国家标准委网站显示,我国首个EUV光刻胶标准——《极紫外(EUV)光刻胶测试方法》作为拟立项标准,10月23日开始公示,截止时间为11月22日。标准的起草单位包括上海大学、张江国家实验室、上海华力集成电路制造有限公司、上海微电子装备(集团)股份有限公司。作为我

科技 光刻胶 显影液 格林达 euv光刻胶 2025-10-27 16:22  3