北大攻克光刻胶关键技术,芯片国产化再进一步
一片小小的芯片,竟卡住了全球科技的脖子。而制造芯片最关键的“墨水”——光刻胶,其核心技术长期被日美企业垄断。如今,北京大学的一则重磅突破,正在为这道坚冰带来裂痕。
一片小小的芯片,竟卡住了全球科技的脖子。而制造芯片最关键的“墨水”——光刻胶,其核心技术长期被日美企业垄断。如今,北京大学的一则重磅突破,正在为这道坚冰带来裂痕。
光刻胶(Photoresist)是一种用于半导体制造中的关键材料,它在光刻工艺中起到了重要的作用。光刻胶是一种特殊的敏化树脂,能够对紫外光或电子束等辐射进行化学反应,形成可控的图案。
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国家标准委网站显示,我国首个EUV光刻胶标准——《极紫外(EUV)光刻胶测试方法》作为拟立项标准,10月23日开始公示,截止时间为11月22日。标准的起草单位包括上海大学、张江国家实验室、上海华力集成电路制造有限公司、上海微电子装备(集团)股份有限公司。作为我